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技術(shù)文章

質(zhì)量控制

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質(zhì)量控制

LAYERTEC大力保證當(dāng)前和未來產(chǎn)品的質(zhì)量。

我們的測(cè)量設(shè)備用于監(jiān)督基材和鍍膜生產(chǎn)。

例如我們定期測(cè)量

•表面形式

•表面粗糙度/整理質(zhì)量

•光譜透射和反射率

•光譜相和GDD(如果適用)

•使用帶OPO光源的寬帶腔衰減設(shè)置,在寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)反射率測(cè)量

•某些波長(zhǎng)和脈沖長(zhǎng)度的損傷閾值測(cè)量

 

精密光學(xué)測(cè)量工具

LAYERTEC的精密光學(xué)設(shè)備配有用于平面和球面曲面的干涉儀。具有λ/ 20(633nm)平坦度的平面襯底和形式公差為λ/ 10(633nm)的球形襯底可以提供干涉測(cè)量方案。

LAYERTEC還采用高性能Fizeau干涉儀和Twyman-Green干涉儀,在以下測(cè)量范圍內(nèi)對(duì)大光學(xué)元件進(jìn)行形狀公差測(cè)量:

平面:

•大∅= 300mm

•測(cè)量精度:λ/ 100(546nm)的平坦度

球面:

•高∅= 500mm,a

•測(cè)量精度:λ/ 50(546nm)的形狀公差

原子力顯微鏡(AFM)是一種有用的儀器,用于表征平均厚度小于5埃的非常光滑的表面。 LAYERTEC有一個(gè)AFM來控制特殊的拋光過程,并根據(jù)要求提供檢驗(yàn)協(xié)議。

 

鍍膜測(cè)量工具

LAYERTEC的檢測(cè)程序包括在120nm和20μm之間的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的涂覆光學(xué)器件的分光光度測(cè)量。使用PERKIN ELMER分光光度計(jì)Lambda950®,Lambda750®和Lambda19®進(jìn)行190nm3200nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)分光光度測(cè)量。對(duì)于超出該波長(zhǎng)范圍的測(cè)量,LAYERTEC配備了FTIR光譜儀(λ=1μm...20μm)和VUV光譜儀(λ= 120nm ... 240nm)。

通過腔衰減時(shí)間光譜測(cè)量R = 99.9 ... 99.9995%的高反射率。實(shí)際上LAYERTEC配有各種CRDS測(cè)量系統(tǒng),可用于355nm1064nm的波長(zhǎng)范圍。此外,還提供了一種新穎的寬帶CRDS設(shè)置,可以提供在220nm和2300nm之間的范圍內(nèi)的低損耗反射鏡的反射率的測(cè)量。

LAYERTEC配備了具有ns脈沖的266nm,355nm,532nm和1064nm的LIDT測(cè)量設(shè)置。

Fraunhofer研究所IOF Jena和激光中興漢諾威公司也與光電技術(shù)研究所(Jena)合作,測(cè)量光學(xué)薄膜和散裝材料的吸收和散射損耗以及激光損傷閾值測(cè)量。

Fizeau Interferometer (SOLITON MiniFIZ 300)

 

Interferometer (OptoTech®)

 

Atomic Force Microscope (DI Nanoscope®)

 

Spectrophotometer

 

Cavity Ring-Down Setup

 

GDD-Measurement Setup

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